BA – Energieanalyse und Betriebsoptimierung eines Reinraumes

Aufgrund der hohen Anforderungen an Reinheit und Klimatisierung haben Reinräume – besonders im Halbleiterbereich – einen hohen Energiebedarf. Den Energiebedarf des Reinraumes des Fraunhofer IISB zu analysieren und zu bewerten sowie durch die Optimierung der existierenden Betriebsstrategien diesen zu reduzieren ist das Ziel dieser Arbeit.
Zu Beginn ist eine umfangreiche Analyse des Energiebedarfs hinsichtlich Strom-, Wärme- und Kältebedarf  sowie weiterer Medien (Druckluft, DI-Wasser, Gase usw.) durchzuführen. Hierbei kann auf Daten aus den verbauten Zählern sowie auf das vorhandene Energiemonitoring-Systems zurückgegriffen werden. Dabei ist auch das Verhalten des Energiebedarfs hinsichtlich der unterschiedlich ausgestatteten Seiten des Reinraumes (Filter Fan Units und Druckplenum) zu beachten. Weiterhin ist zu überlegen, welche zusätzlichen, temporären
Messstellen für eine umfassende Beurteilung erforderlich sind. Ausgehend von diesem Gesamtdatensatz sind die einzelnen Sektoren hinsichtlich ihres Bedarfes zu charakterisieren und zu bewerten.
In einem zweiten Schritt ist der Tages-, Nacht- und Wochenendbetrieb des Reinraumes bezüglich des Einflusses auf den Energieverbrauch zu untersuchen. Daraus sind optimierte Betriebsstrategien zu entwickeln unter der Randbedingung, dass diese einen möglichst geringen Einfluss auf die Qualität des Reinraumes haben.
Dieser optimierte Betrieb sollte nach Möglichkeit auch temporär verifiziert werden.

Betreuer: Dr. Richard Öchsner, Dr. Christopher Lange, Maximilian Beier-Ardizzon

Für Studienfächer: EEI, Mechatronik, Energietechnik

Frühest möglicher Beginn: sofort

Verantwortlicher: Prof. Dr.-Ing. Martin März